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  • 多區域濾波片(MZF)

    對光學設計師來說,在單個基板上提供空間變化的光譜性能可具有許多優勢。益瑞電光譜技術有限公司提供組裝的多區域濾波片陣列和帶狀圖案的多區域濾波片(MZ)(有時稱為多光譜濾波片),可滿足這些不斷增長的需求。益瑞電光譜技術有限公司的MZF產品的功能包括:

     

    濾波片類型:

    • 長通或短通濾波片(LPF / SPF)
    • 帶通濾波片(BPF)
    • 陷波濾波片
    • 黑色吸收鍍膜
    • 防反射鍍膜(AR)
    • 高反射鏡(HR)

     

    波長范圍:

    • 紫外波段(300nm)到長波紅外波段(LWIR 10 um)
    • 定制尺寸,光譜性能和布局(區域的數量和大?。?/li>
    • 整體圖案陣列
    • “多域拼裝”組裝陣列
    • 組裝和圖案化的方法的組合

    許多不同的應用都受益于多區域濾波片提供的服務。益瑞電光譜技術有限公司的MZF技術已在以下應用中使用:

     

     

    益瑞電光譜技術有限公司的MZF功能利用成熟的硬電介質鍍膜技術來達到甚至超過對可靠性和光學性能的預期表現,滿足空間使用的耐用性和可靠性要求(標準MIL規格)以及客戶的要求。

    組裝

     

    我們的多區域濾波片組裝方法可滿足需要多波段、復雜濾波片鍍膜或成本受限的多光譜成像應用的需求。這種方法將鍍層沉積在單獨的基片上,然后使用堅固的組裝方法將其粘合在一起。 這些組件可實現<100μm的區域到區域的過渡帶,并已制造多達十個不同的光譜帶,從而將單個探測器變成多光譜成像器材。

    組裝好的MZF包括圖案化的黑色鍍膜,以確定各個區域所需的透光區域,并減少沿區域之間以及陣列外部邊緣的接縫的散射和雜散光。

    上圖顯示了MZF,它是根據ABB加拿大分公司為加拿大航天局的空間技術開發計劃而開發的,在3um至13um之間具有十個帶通濾波片的MZF。

     

    圖案化

     

    對于需要較小過渡區域、完美的區域到區域共面性或無法通過組裝獲得的圖案的應用,益瑞電光譜技術有限公司的圖案化多區域濾波片是理想的選擇。

    益瑞電光譜技術有限公司的內部光刻實驗室位于1000級無塵室中,該室能夠對直徑150毫米的晶圓進行圖案化,也可以執行多步圖案化,以創建具有多達五個不同區域的MZF,并且區域之間的過渡距離僅為20μm。

    圖案化的MZF可以包括黑色鍍層過渡區,以隔離單獨的光譜帶,從而降低檢測器發生串擾的可能性。

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